增幅超52％！国产光刻机龙头上海微电子增资至2.66亿元

据企查查平台信息，上海微电子装备(集团)股份有限公司于日前发生注册资本(金)变更，从17435.9934万人民币增加到26612.41万人民币，增长幅度达52.6％。

上海微电子装备(集团)股份有限公司成立于2002年3月，是我国极少数具有光刻机整机集成研发能力的厂商，光刻机产品注册商标于2006年4月获得国家工商局批准，首台先进封装光刻机产品为SSB500/10A，2009年12月交付用户。

2022年2月，上海微电子举行了首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，其主要应用于高端数据中心高性能计算（HPC）和高端AI芯片等高密度异构集成领域。